硅片切割過程中，別忘了超純水和CO2起泡器的影響力

本篇文章討論超純水和CO2起泡器對(duì)硬刀的影響。我們生產(chǎn)過程中為了防止硅IC加工時(shí)產(chǎn)生靜電，通常使用CO2起泡器去除靜電。 根據(jù)CO2起泡器的電阻率，切割水有時(shí)會(huì)對(duì)刀刃（接合部）產(chǎn)生腐蝕，導(dǎo)致無法進(jìn)行穩(wěn)定的加工。

下面將通過三組實(shí)驗(yàn)，對(duì)比超純水和CO2起泡器對(duì)刀片的影響。

三組實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)條件的設(shè)定

實(shí)驗(yàn)條件

實(shí)驗(yàn)觀察對(duì)象

不同條件下的實(shí)驗(yàn)結(jié)果

實(shí)驗(yàn)前刀片的情況

實(shí)驗(yàn)一   72小時(shí)空轉(zhuǎn) 使用超純水

實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

鋁（輪轂）被腐蝕，溶出的鋁粘附在刀刃上。刀刃的機(jī)器側(cè)被輕微腐蝕。刀片的操作側(cè)沒有被腐蝕，因?yàn)樗谎趸X覆蓋。

PS：超純水（16MΩ.cm 或更高，雜質(zhì)為 1ppb 級(jí)）被稱為饑餓水，接觸材料會(huì)發(fā)生 ppb 級(jí)的洗脫。

實(shí)驗(yàn)二   72小時(shí)空轉(zhuǎn) 使用超純水+CO2起泡器

實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

鋁（輪轂）被腐蝕，刀刃（機(jī)器側(cè)+操作側(cè)）都被腐蝕。

PS: PH值4-8之間鋁（輪轂）不會(huì)被腐蝕，但是鎳基體在PH值低于6（含）就會(huì)被腐蝕。

實(shí)驗(yàn)三   72小時(shí)持續(xù)切割 使用超純水+CO2起泡器

實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

鋁（輪轂）和刀刃（機(jī)器側(cè)+操作側(cè)）都沒有被腐蝕。

原因：

加工硅時(shí)產(chǎn)生的污染物（切削粉塵）粘附在刀片上，刀片被 SiO2薄膜覆蓋。  

實(shí)驗(yàn)結(jié)論

如果長時(shí)間不進(jìn)行加工，請(qǐng)停止切割水。 尤其是當(dāng)使用輔助起泡器時(shí)，即使pH值在6左右，刀片在空轉(zhuǎn)過程中也可能被腐蝕。因此，長時(shí)間等待過程中，應(yīng)關(guān)閉切割水。

補(bǔ)充說明：

空轉(zhuǎn)狀態(tài)指的是在實(shí)際開始加工之前，同時(shí)開啟主軸和切割水大約 30 分鐘的待機(jī)狀態(tài)。 這樣做是為了能夠以穩(wěn)定的精度操作機(jī)器（暖機(jī)）。

更換刀片后，請(qǐng)務(wù)必在安裝前將主軸空轉(zhuǎn) 10 分鐘。 如果空轉(zhuǎn)（暖機(jī)時(shí)間）不足，安裝位置可能會(huì)有偏差。